中安在线、中安新闻客户端讯 想象一下，医生能看清血管的每一次细微搏动，工厂的质检员能瞬间发现产品里微小的瑕疵，机场安检的速度快到让你惊讶。这一切，都离不开一颗神奇的“芯”——X射线成像传感器。

　　它是X射线数字化成像设备的“心脏”，是决定成像质量的灵魂“眼睛”。

技术人员在黄光区进行高精度曝光recipe调试及优化

　　以前，这颗“芯”我们得靠进口，技术攥在别人手里。但现在，情况变了。芜湖长信科技股份有限公司凭着一股子“钻”劲儿，不仅把这颗“芯”给造了出来，而且正让这颗“芯”跳动得越来越强劲，越来越有“国际范儿”。

　　“我们投入了2亿元的研发资金，组建了超70人的专业研发团队，引进了先进的G3.5生产线及相关检测设备，并建立了高标准研发实验室。”长信科技项目负责人介绍。

　　为什么要造这颗“芯”？

　　“我们想打破国外垄断，实现核心技术的自主可控。这不仅是一次技术上的‘突围’，更是一场产业升级的硬仗。”项目负责人坦言，从传统的非晶硅跨越到先进的IGZO薄膜晶体管技术，这一步，必须迈出去！

　　从2022年8月启动，历时3年终于攻克技术难关，研制出拥有自主知识产权的“大面积动态X射线成像传感器”，成功打破国外对高端动态X射线传感器的长期垄断，填补了国内空白，有力推动了高端装备产业链的升级。

技术人员在进行CT测试，使用非固定探针压接产品用于产出玻璃的初步检测，可检测玻璃坏线、mura等缺陷

　　回顾研发之路，长信科技的研发团队可是经历了一场与技术的“死磕”。

　　为了让“芯”更敏锐，研发团队把像素尺寸硬生生压缩到100微米，让空间分辨率提升至5.0线对/毫米，各项指标都达到了国内领先水平。为了让“芯”更稳定，研发团队还引入平坦层，优化成膜、黄光、刻蚀工艺，让光电二极管的开口率提高到68%以上，显著提升了探测效率和信噪比。甚至，团队研制了曲面diffuser，优化了其曲率和出气孔结构参数，使气体在产品表面的分布更加均匀，从而实现了更均匀的成膜效果。

　　“我们在研发过程中遇到了IGZO薄膜晶体管稳定性差的难题，器件长时间运行后性能会‘漂移’。”这该怎么办？正当大家一筹莫展之际，一次偶然的发现带来了转机。项目负责人说，“我们发现调整成膜腔室的氧气流量似乎能改善稳定性。于是，团队抓住这个线索，连续多日高强度实验，最终找到了最佳的氧气流量和成膜温度组合，成功解决了氧空位分布不均的问题。”

　　“难题攻克的那一刻，整个实验室都沸腾了！”项目负责人表示，这不仅是技术的胜利，更是团队士气的一次大提振！

　　功夫不负有心人。如今，长信科技的大面积动态X射线成像传感器已经硕果累累。各项技术指标均达到国内领先水平，具备高迁移率、高空间分辨率、高光量子效率、高稳定性及低漏电流等核心优势，更重要的是，它已经从实验室走向了广阔的产业化应用。

　　在医疗领域，该传感器已应用于数字减影血管造影系统（DSA）和C型臂X射线机等设备，提供高分辨率、低剂量的动态成像，显著提升了诊断的精准性和效率；在工业无损检测方面，传感器被用于新能源汽车和航空航天领域的电池检测及零部件检测，保障产品质量和安全性；在安防领域，传感器应用于机场、车站等场所的安检设备，提升安检效率和准确性，助力公共安全。

　　目前，该传感器已批量出口至多家国内厂商，产能已达到6.6万片，累计销售金额达数亿元人民币。

　　这不仅仅是一颗传感器的胜利，更是中国智造在核心技术领域不断攀登、不断超越的缩影。相信这束源自安徽的“芯”光，必将照亮更广阔的天地，为我们的生活带来更多惊喜与可能。（记者 徐慧媛）